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SPS(POLOS)旋涂仪技术参数及应用介绍

  • 产品型号:SPIN150X-LNR
  • 更新时间:2024-04-09
  • 浏览次数:97

简要描述:SPS(POLOS)旋涂仪技术参数及应用介绍

SPS(POLOS)SPIN150X-LNR是一款功能强大的旋涂仪,以下是对其技术参数及应用的详细介绍:

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SPS(POLOS)旋涂仪技术参数及应用介绍

SPS(POLOS)SPIN150X-LNR是一款功能强大的旋涂仪,以下是对其技术参数及应用的详细介绍:

技术参数:

  1. 旋转速度:该旋涂仪具有高达12000 RPM的旋转速度,这确保了涂层均匀且快速,满足各种实验和生产需求。

  2. 旋转精度:这款旋涂仪具备高精度特性,可以精确控制旋转过程,确保涂层厚度和均匀性的高度一致性。

  3. 最大加速度:它的加速度范围达到1~30000 RPM,使得旋涂过程可以迅速且平稳地进行,提高了工作效率。

  4. 基片直径:该旋涂仪适用于直径为6"(约150mm)的基片,这使其能够处理较大面积的样品,满足多种应用需求。

  5. 腔体直径:其腔体设计合理,直径为4" x 4"(约100mm),这为实验操作提供了足够的空间。

此外,该旋涂仪还具备一些硬件规格特点,如液体过滤捕集器、特别设计的外壳和排水口、中心注射支架、盖锁和真空传感器等,这些设计都确保了用户操作的安全性和便捷性。

应用介绍:

SPS(POLOS)SPIN150X-LNR旋涂仪具有广泛的应用领域,主要适用于MEMS、半导体、生命科学、光伏、微流控等领域的研发和小批量生产。它可以用于各种典型的旋转工艺,包括清洁、漂洗/干燥、涂层、显影、玻璃滑动和蚀刻等。此外,它还可以用于旋涂聚合物薄膜,如嵌段共聚物(BCP)、PDMS和PMMA,或作为低成本的溶胶-凝胶方法,例如旋涂ZnO薄膜。

总的来说,SPS(POLOS)SPIN150X-LNR旋涂仪是一款功能全面的旋涂设备,能够满足各种实验和生产需求,为科研工作者和生产商提供高效、可靠的解决方案。

SPS(POLOS)旋涂仪技术参数及应用介绍


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