SCHOTT 155.104 校正光学组件

SCHOTT 155.104 校正光学组件

SCHOTT 155.104是肖特专为同轴落射垂直照明光路设计的校正光学组件，适配金属反光基材、半导体晶圆、光滑镀膜基板、精密五金镜面零部件的垂直同轴显微观测工艺，解决普通光路组件垂直照明光斑偏心、反光眩光、视野明暗不均的问题，内部集成45度分光校正片、同轴平行隔圈、同轴双向标准接口，可将光源输出光线规整为垂直同轴入射光路，消除光滑基材镜面反射产生的眩光杂斑，让基板表面微小划痕、凹坑、镀膜缺陷清晰呈现，是半导体晶圆检测、精密镜面零部件质检、光学镀膜试样观测的专用配套配件。组件标准化尺寸兼容SCHOTT KL系列LED、卤素光源同轴光纤接头，各类同轴落射显微设备光路接口直接装配，无需定制转接环，存量同轴光路改造升级流程简洁。

组件核心45度分光校正片采用均质高透光光学基材双面抛光加工，分光角度出厂精准校准，可均匀分束垂直同轴光线，同时过滤光滑基材镜面反射的水平杂散光，消除观测视野大面积眩光白斑，微小表面缺陷不会被强光眩光掩盖，大幅降低人工漏检概率。分光片双面镀制专用同轴减反射膜层，垂直入射、水平反射两类光线界面损耗数值稳定，长期受高强度卤素、LED光照不会出现膜层分层、褪色失效，同轴校正性能长期维持出厂基准。配套同轴平行隔圈耐高温、耐溶剂腐蚀，长期光源热辐射无弯曲形变，分光片始终维持标准45度分光角度，垂直同轴光路不会出现光斑偏心、局部暗区缺陷。

组件两端为同轴光路专用双向标准接口，输入端匹配KL系列同轴环形光纤接头，输出端适配各类同轴落射显微镜垂直光路接口，一套组件适配LED冷光源、卤素冷光源两类主机搭配同轴光纤使用，无需分光源储备多款同轴校正配件，减少实验室、质检车间备件库存种类。接口内侧环形密封垫圈适配同轴光纤圆形外壁，贴合密封，阻挡粉尘、水汽进入腔体附着分光片膜层，拉长光学清洁维护周期。接口单向限位卡扣，光纤、显微接头仅单一角度插入，防止反向装配导致分光角度错乱，杜绝同轴校正失效的人为操作失误。

组件框架轻薄高强度圆形合金材质，自重低，加装于同轴光纤末端不会拉扯光纤弯折变形，微型晶圆检测显微镜、紧凑型同轴观测设备均可稳定配套使用。框架正面开设圆形全覆盖清洁开口，无需完整拆解整套组件，无尘棉签伸入即可完整擦拭分光片透光分光区域，减少多次拆装磨损限位卡扣、分光片偏移的故障概率。框架哑光黑色外层，吸收环境杂散光反射，不会产生多余光线混入垂直同轴光路，无需额外加装同轴遮光套筒，简化光路搭建配件清单，缩减现场设备调试耗时。整套组件无源纯光学结构，无电路、供电元件，恒温、轻微潮湿、多尘常规检测环境均可全天连续稳定运行，不存在电气线路故障、电压适配问题。

该组件适配半导体硅片/晶圆镀膜缺陷同轴检测、精密镜面五金零部件外观质检、光学涂层光滑基板形貌观测、高校同轴落射光学对照实验、金属抛光板材微小划痕筛查等垂直照明工况，未加装组件的普通同轴光路观测光滑反光基板会出现整片视野眩光，微小缺陷掩盖，加装155.104后规整垂直入射光线、过滤反射杂光，视野底色干净柔和，微米级细微划痕、镀膜针孔均可清晰识别。组件配套圆形避光收纳盒，闲置时分隔存放组件与替换密封垫圈，隔绝环境光照延缓分光膜层老化。配套备件包含同轴专用替换密封垫圈、圆形光学清洁棉签两类耗材，规格统一采购渠道稳定，无需定制特殊尺寸配件。

多件同型号组件同轴分光校正参数偏差极小，多台同轴显微镜同步开展批量晶圆、零部件质检时，垂直照明基准统一，批量样品缺陷识别标准一致，检测报告数据具备横向对比参考价值。组件无易损耗电子元件，仅定期清洁分光片表面即可维持校正性能，大批量同轴质检工位规模化部署的长期运维耗材、人力成本可控，适合半导体车间多条晶圆检测产线同步改造升级。整套组件圆形小巧，收纳盒可放置实验台抽屉，不占用台面有效操作空间，适配空间紧凑的晶圆检测洁净工位布局。

一、组件基础规格参数

二、同轴分光校正与圆形框架配套运行优势

SCHOTT 155.104 45度分光片分光角度出厂精准定型，均匀输出垂直同轴入射光线，同步过滤基板镜面反射水平杂散光，消除眩光白斑，光滑反光基材微小缺陷清晰可见。专用同轴减反射膜层耐受LED、卤素高强度长时光照，膜层老化速度平缓，分光校正基准长期稳定无偏移。同轴平行隔圈耐高温热辐射无形变，分光片角度恒定，全视野垂直照明光斑居中无偏心，无单侧暗区缺陷。

单向定位同轴接口杜绝反向装配失误，操作人员无需区分装配正反面，对准定位槽插入即可完成正确装配，降低人为操作造成的分光失效、视野眩光故障。圆形全覆盖清洁开口完整覆盖分光片透光分光区域，棉签伸入即可完整擦拭污渍，无需完整拆解圆形框架，减少多次拆装磨损分光片位移概率。哑光全黑圆形框架吸收环境杂散光反射，无需额外同轴遮光套筒，光路搭建配件精简，晶圆洁净工位调试工作量缩减。

同轴密封垫圈贴合圆形光纤接头外壁，粉尘、水汽难以进入腔体附着分光膜层，拉长光学清洁维护周期。轻薄圆形自重，同轴光纤末端加装后不会拉扯光纤保护层弯折破损，紧凑型晶圆检测显微镜、微型同轴观测设备均可稳定配套使用。整套无源光学结构无电气故障风险，洁净车间恒温、低粉尘环境全天连续稳定运行，仅需定期光学清洁，无电路检修、供电适配工作。

三、同轴垂直光路工艺适配与落地使用场景

该组件适配半导体工厂晶圆镀膜同轴缺陷检测、精密镜面五金零部件批量质检、光学抛光基板涂层形貌检视、高校同轴落射光学对照实验、光伏镜面基板微小划痕筛查等垂直同轴照明工况。半导体晶圆检测车间多台同轴显微镜加装组件后，各工位垂直照明无眩光，微米级针孔、划痕、镀膜不均缺陷识别清晰，降低晶圆报废漏检率；高校材料实验室用于金属抛光、镀膜基材同轴光学实验，统一分光校正标准，各组实验成像条件一致，实验数据可横向对比；精密零部件质检产线搭配同轴光纤使用，光滑镜面零件无需更换高功率光源即可消除眩光，产线改造成本可控。

组件可搭配KL2500 LED、KL1500 HAL两款光源主机全部同轴环形光纤，一套组件兼容LED冷光源、卤素宽谱光源两类光路，减少备件采购库存。圆形避光收纳盒完整收纳闲置组件，隔绝车间强光延缓分光膜层老化，延长组件使用周期。整套圆形小巧，收纳盒放置洁净工作台抽屉，不占用晶圆检测有效操作台面。

SCHOTT 155.104 校正光学组件